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空氣過濾器標(biāo)準(zhǔn)和效率
日期：2025-07-31 12:32
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摘要：
空氣過濾器標(biāo)準(zhǔn)和效率
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對(duì)高效過濾器要求越來越嚴(yán), 德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)DIN24183率先提出"*容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡(jiǎn)稱MPPS)法, 并采用*容易穿透粒徑來檢測(cè)空氣過濾器的效率. 其實(shí)不同的濾料和不同的濾速*容易穿透粒徑是不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測(cè)試其效率或用于掃描實(shí)驗(yàn).
MPPS是目前*嚴(yán)格的試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn), 具體測(cè)試一般采用DOP方法.
DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實(shí)驗(yàn)塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測(cè)量粉塵儀器為光度計(jì), 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對(duì)DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器對(duì)過濾器整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn).
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對(duì)高效過濾器要求越來越嚴(yán), 德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)DIN24183率先提出"*容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡(jiǎn)稱MPPS)法, 并采用*容易穿透粒徑來檢測(cè)空氣過濾器的效率. 其實(shí)不同的濾料和不同的濾速*容易穿透粒徑是不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測(cè)試其效率或用于掃描實(shí)驗(yàn).
MPPS是目前*嚴(yán)格的試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn), 具體測(cè)試一般采用DOP方法.
DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實(shí)驗(yàn)塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測(cè)量粉塵儀器為光度計(jì), 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對(duì)DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器對(duì)過濾器整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn).